一、產(chǎn)品名稱：鈦靶材、鈦靶

牌號：TA0， TA1， TA2， TC4， TC6， TC11， GR5， TA7 

廠家：巨偉鈦業(yè)

主要形式：圓靶、板靶、管靶

鈦含量≥：99.8(%)雜質(zhì)含量：0.02(%)重量：不等(KG/塊)

密度：4.51或4.50

圓靶：

60/65/70/80/85/90/95/100(D)×20/30/32/35/40/42/45/50(T)

板靶：60/80/120(W)x6/8/12(T)×519/525/620(L)&60-800(W)x6-40(T)x600-2000(L)

管靶：0.1-30.0mm(W.T.)*3-350mm(O.D.)*50-15000mm

用途：鈦靶材用于半導體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層，玻璃鍍膜工業(yè)等。

二、產(chǎn)品名稱：702鋯靶、705高純鋯靶、鋯塊、鋯多弧靶 

分類：

形狀可分為長靶，方靶，圓靶，異型靶

成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材

鋯靶主要應(yīng)用于微電子靶材、磁記錄靶材、光碟靶材、貴金屬靶材、薄膜電阻靶材、導電膜靶材、表面改性靶材、光罩層靶材、裝飾層靶材、電極靶材、封裝靶材、其他靶材。

三、產(chǎn)品名稱：高純鉻靶 、鉻靶材 、鉻靶塊 、鉻板靶

可定制靶材規(guī)格：

圓靶（直徑φ1"-φ14"，厚度0.5-15mm）

板靶(長<500mm，寬<500mm，高<25mm）

管靶（外直徑φ3.0mm-φ300mm,內(nèi)直徑φ2.0mm-280mm）

材料純度：>99.995%

金屬雜質(zhì)含量：（Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn）：<10ppm

平整度（TIR）:<20μm

局部平整度（STIR）:<10μm

翹曲度（Warp）:<50μm

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